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江門市惠和永晟納米科技有限公司

供應藍寶石CMP拋光液硅溶膠 /112926-00-8

規(guī)　　格：		價　　格：	9.5/元/公斤
數(shù)　　量：	1000 噸	交貨地：
發(fā)布時間：	2024-09-10	有效期：	255天
備　　注：	藍寶石晶體(α-A12O3)是一種耐高溫、耐磨損、抗腐蝕和透光波段寬的優(yōu)質光功能材料，它具有與Ⅲ族氮化物相同的六方密堆積型，是由物理、機械和化學特性三者獨特組合的優(yōu)良材料。在光通信領域，藍寶石晶體不僅用作短波長有源器件，還用作偏振光的無源器件在微電子領域，藍寶石可以作為新一代半導體襯底SOI(絕緣層上)的襯底，由于藍寶石優(yōu)良的阻擋作用，能夠減小晶體管的電容效應，其運算速度可變得更快，功耗變得更低。在光電子領域，藍寶石晶體是制造GaN發(fā)光二極管(LED)的首選襯底材料。在藍寶石襯底上生長薄膜之前，首先要去除切片時產生的劃傷、凹坑、應力區(qū)等，然后要降低表面粗糙度。表面的粗糙度越大，表面的懸掛鍵越多，越容易吸附其他雜質，并且與上面的薄膜有較差的晶格匹配。傳統(tǒng)的純機械拋光是用拋光粉不斷地研磨被拋光材料的表面，容易產生較深的劃傷。而CMP（化學機械拋光）是在化學作用的環(huán)境下，通過機械作用將化學反應物去除掉，提高了材料的去除速率，同時也得到良好的表面形態(tài)。
結構式：

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